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A model for longitudinal piezoelectric coefficient measurement of the aluminum nitride thin films
  • ISSN号:0957-4522
  • 期刊名称:Journal of Materials Science: Materials in Electro
  • 时间:2014.6
  • 页码:2435-2442
  • 相关项目:超导磁悬浮平面微飞轮系统振动稳定性研究
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