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Realization of DC atmospheric pressure glow discharge without external airflow
  • ISSN号：0042-207X
  • 期刊名称：Vacuum
  • 时间：2015.1.30
  • 页码：28-35
  • 相关项目：基于MEMS技术的敞开式离子源和微型气泵集成系统研究
作者： Hua Li|De-Cha Zeng|Jun-Yu Liu|Zhen-Cheng Chen|
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基于MEMS技术的敞开式离子源和微型气泵集成系统研究
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