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Maskless micro/nanofabrication on GaAs surface by friction-induced selective etching
  • ISSN号：1931-7573
  • 期刊名称：Nanoscale Research Letters
  • 时间：2014.2.4
  • 页码：-
  • 相关项目：低损伤摩擦诱导纳米加工的原理及应用研究
作者： Tang, Peng|Yu, Bingjun|Guo, Jian|Song, Chenfei|Qian, Linmao|
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