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Direction-identical scratching method for fabricating nanostructures using a modified AFM nanoscratc
  • ISSN号：1071-1023
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science and Technology B
  • 时间：2015.3
  • 页码：021802-
  • 相关项目：采用弹性工艺系统在回转曲面上加工微纳结构的新方法研究
作者： Yu, Bowen|Yan, Yongda|Hu, Zhenjiang|Zhao, Xuesen|
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