位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
PLD法制备ZnO薄膜的退火特性和蓝光机制研究
  • ISSN号：1005-0086
  • 期刊名称：《光电子．激光》
  • 时间：0
  • 分类：O484[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：济南大学理学院, 山东师范大学物理与电子科学学院
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(10474059);山东省自然科学基金资助项目(Y2008A21);济南大学博士基金资助项目(XBS0833)
作者： 魏显起, 张铭杨, 满宝元
关键词： 脉冲激光沉积(PLD), ZNO薄膜, 晶体结构, 表面形貌, 光学特性
中文摘要：

通过脉冲激光沉积(PLD)方法,在O2中和100～500℃衬底温度下,用粉末靶在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜,在300℃温度下生长的薄膜在400～800℃温度和N2氛围中进行了退火处理,用X射线衍射(XRD)谱、原子力显微镜(AFM)和光致发光(PL)谱表征薄膜的结构和光学特性。XRD谱显示,在生长温度300℃时获得较好的复晶薄膜,在退火温度700℃时获得最好的六方结构的结晶薄膜;AFM显示,在此退火条件下,薄膜表面平整、晶粒均匀;PL谱结果显示,在700℃退火时有最好的光学特性。

同期刊论文项目
激光等离子体特性及膨胀动力学研究
期刊论文 42 获奖 2 著作 1
同项目期刊论文
Effects of focus lens position
Dependence of temperature on t
ZnO多角晶须的制备及表征
相位反射产生的激光场空洞现象及其与激光等离子体参数相关性研究
准分子激光辐照HgCdTe半导体材料的损伤机理研究
Effects of ZnO buffer layers o
Effects of pressure on pulsed
Annealing of GaN/ZnO/Si Films
Influence of ambient pressure
Impulse coupling coefficients
Analysis of laser damage thres
Blue luminescent centers and m
Spectrum analysis of plasma pr
Analysis of surface damage and
Investigation of pulsed laser
Annealing effect on the micros
Effects of oxygen pressures on
The effect of nitrogen pressur
Blue luminescent center and Ul
飞秒强激光脉冲在等离子体中的自
聚四氟乙烯材料表面激光改性与刻
A study on structural and opto
Investigation of the Mechanism
相位反射产生的激光场空洞现象及
SiC缓冲层用于改善硅基氮化镓薄膜的质量研究
脉冲激光制备ZnO薄膜的结构和光学特性
Impulse-coupling coefficients from a pulsed-laser ablation of semiconductor GaAs
准分子激光对半导体材料HgCdTe和Si的损伤实验研究
飞秒强激光脉冲在等离子体中的自压缩
微粒在会聚高斯光束中的受力分析
氧压对用PLD法制备的ZnO薄膜的特性影响
期刊信息
  • 《光电子．激光》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:天津市教育委员会
  • 主办单位:天津理工大学 中国光学学会
  • 主编：巴恩旭
  • 地址：天津市西青区宾水西道391号
  • 邮编：300384
  • 邮箱：baenxu@263.net baenxu@aliyun.com
  • 电话：022-60214470
  • 国际标准刊号：ISSN：1005-0086
  • 国内统一刊号：ISSN：12-1182/O4
  • 邮发代号:6-123
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:16551