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纯氮气反应溅射c-轴择优取向AIN薄膜的制备及性质研究
  • 期刊名称：新疆大学学报(自然科学版)
  • 时间：0
  • 页码：444-449
  • 语言：中文
  • 相关项目：氮化铝薄膜制备及过渡金属元素掺杂研究
作者： 简基康|孙言飞|杨世才|阿布都艾则孜·阿布来提|吴荣|郑毓峰|
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氮化铝薄膜制备及过渡金属元素掺杂研究
期刊论文 12
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