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Improving the uniformity of RF-plasma density by a humped variable-gap spiral antenna
  • ISSN号：1674-1056
  • 期刊名称：《中国物理B：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN82[电子电信—信息与通信工程]
  • 作者机构：[1]Applied Ion Beam Physics Laboratory, Institute of Modern Physics, Fudan University, Shanghai 200433, China
  • 相关基金：Project supported by National Natural Science Foundation of China （Grant No 50577009）.
作者： 徐旭[1], 李林森[1], 刘峰[1], 周前红[1], 梁荣庆[1]
关键词： 螺旋型天线, 平面天线, 朗缪尔探针, 射频等离子体密度, inductively coupled plasma, Langmuir probe, planar antenna, density uniformity
中文摘要：

E-mail： rqliang@fudan.edu.cn

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期刊信息
  • 《中国物理B：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会和中国科学院物理研究所
  • 主编：欧阳钟灿
  • 地址：北京 中关村 中国科学院物理研究所内
  • 邮编：100080
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  • 电话：010-82649026 82649519
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-1056
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5639/O4
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  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:406