基于ANSYS建立了三维有限元模型.采用APDL函数控制单元沿设定轨迹的生死.研究了3种环形路径和2种基板对残余应力的影响,比较分析了不同条件下残余应力及其分布规律。结果表明:同向路径的应力水平最低,加槽基板能够有效地降低残余应力.底部第一主应力平均减少29.86%。基板变形试验与模拟结果吻合,证明了模型的正确性。