位置:成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
氨化法制备大量单晶GaN纳米线及其特性研究
  • ISSN号:1003-8213
  • 期刊名称:《微细加工技术》
  • 时间:0
  • 分类:TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]山东师范大学半导体研究所,济南250014
  • 相关基金:国家重大自然科学基金资助项目(90201025;90301002)
中文摘要:

利用磁控溅射技术先在硅衬底上制备Ga2O3/Co薄膜,然后在管式炉中通入流动的氨气在950oC对薄膜进行氨化,反应后成功制备出大量GaN纳米线。采用X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品进行分析。结果表明,采用此方法得到了六方纤锌矿结构的GaN单晶纳米线,纳米线的直径在50nm~150nm范围内,长度为几十微米。

英文摘要:

A mass of GaN nanowires were synthesized by ammoniating Ga2O3/Co films at 950 ℃ .These GaN nanowires were characterized by X-ray diffraction (XRD), Fourier transformed infrared spectroscopy (FTIR), scanning electron microscope (SEM) and high resolution transmission electron microscopy (HRTEM).The results indicate that these nanowires are hexagonal wurtzite GaN single crystals. The diameter of the nanowires is in the range of 50 - 150 nm with the lengths up to several tens of micrometers.

同期刊论文项目
期刊论文 111 会议论文 6 获奖 5
同项目期刊论文
期刊信息
  • 《微细加工技术》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主编:伍三忠
  • 地址:长沙市第96号信箱301分箱(长沙黑石铺)
  • 邮编:410111
  • 邮箱:
  • 电话:0731-2891478
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-8213
  • 国内统一刊号:ISSN:43-1140/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,国家一级检索刊物用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库
  • 被引量:1695