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基于半导体光电位置敏感器件厚度检测仪研制
  • ISSN号:1001-5868
  • 期刊名称:《半导体光电》
  • 时间:0
  • 分类:TN929[电子电信—通信与信息系统;电子电信—信息与通信工程]
  • 作者机构:[1]山东理工大学电气与电子工程学院,山东淄博255049
  • 相关基金:国家自然科学基金资助课题(60877050);山东省教育厅资助项目(J08LJ12).
中文摘要:

首先分析了光线通过薄膜的理论及特点,在此基础上,采用透镜、分束棱镜、滤光片以及新型半导体光电位置敏感器件,设计了一种新型透明体厚度光电检测仪。该仪器中的光学系统设计,采用双光路消漂移方法,消除了光束的漂移等不稳定因素;信号处理电路采用高精度、低温漂放大器等元器件,最大程度地消除了热噪声;对入射光线、被测体、探测器三者之间的相对位置进行了最优化设计。最后,对该仪器的结构、特点以及产生的误差进行了分析,给出了几个重要结论。

英文摘要:

Firstly the theory and characteristics of light passing the film are analysed. Then, designed is a new type of photoelectric clarity body thickness detection instrument including several components, such as lens, a splitting prism, a filter, a new photoelectric detector. The instrument uses a double optical pass dispel excursion method for the optical system design, eliminating light excursion. And the signal processing circuit applies the drift amplifier with characteristics of high precision and low temperature, eliminating the heat noise extensively. The relative position of the three factors of incident light, measured object and detector is optimized. The structure, characteristic and error of the instrument are analysed, and several important conclusions are obtained.

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期刊信息
  • 《半导体光电》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十四研究所(重庆光电技术研究所)
  • 主编:江永清
  • 地址:重庆市南岸区南坪花园路14号
  • 邮编:400060
  • 邮箱:soe@163.net
  • 电话:023-65860286
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-5868
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1092/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 重庆市首届十佳期刊称号,1999年,信息产业部1999-2000年度优秀电子期刊称号
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:5924