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半导体硅熔体电导率的间接测量
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:《人工晶体学报》
  • 时间:0
  • 分类:TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]河北工业大学信息功能材料研究所,天津300130
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(No.50372016)和教育部科学研究重点项目(No.205017)
中文摘要:

本文通过在磁场下测定硅熔体的粘度,根据ηeff=(μBb)2σ关系式,间接计算出硅熔体的电导率。其结果与用其他方法测试的数值吻合。用电子导电、离子导电的变化,解释了硅熔体在1420~1690℃范围电导率的变化,研究结果对指导大直径硅单晶生长具有实际意义。

英文摘要:

The conductivity was calculated by measuring the viscosity of silicon melt in the magnet field and according to the relationship of ηelf = (μBb)2σ. The results were consistent with the value reported by other method. The variety of silicon melt conductivity at the range of 1420℃ to 1690℃ was explained with the variety of electrons and ions. This work is significant to the growth of large diameter silicon.

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9943