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Detection of ethanol and methanol vapors using polymer-coated piezoresistive Si bridge
  • ISSN号:0925-4005
  • 期刊名称:Sensors and Actuators B-Chemical
  • 时间:0
  • 页码:519-523
  • 语言:英文
  • 相关项目:三维敏感效应MEMS气体传感器
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