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SiON as a barrier layer for depositing an Al2O3 thin fillm on Si for gate applications
  • 期刊名称:Surf. Interface Anal.
  • 时间:0
  • 页码:956-959
  • 语言:英文
  • 相关项目:Si(Ge)纳米晶磁有序形成与机理
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