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蓝宝石表面生长GaN外延片的深紫外激光刻蚀
  • ISSN号：0924-0136
  • 期刊名称：Journal of Materials Processing Technology
  • 时间：2012
  • 页码：492-496
  • 相关项目：超声波辅助的超短激光微加工技术及新型光纤传感器制备
作者： 戴玉堂|徐刚|童杏林|
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