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磁控溅射中电磁场分布二维模拟
  • ISSN号：1002-0322
  • 期刊名称：真空
  • 时间：2015.11.25
  • 页码：14-18
  • 相关项目：磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
作者： 周艳文|张绪跃|王复栋|王明磊|
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磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
期刊论文 25
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期刊信息
  • 《真空》
  • 北大核心期刊（2008版）
  • 主管单位:
  • 主办单位:中国机械工业集团公司有限公司 沈阳真空技术研究所
  • 主编：李玉英
  • 地址：沈阳市沈河区万柳塘路2路
  • 邮编：110042
  • 邮箱：zkzk@chinajournal.net.cn
  • 电话：024-24121929
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-0322
  • 国内统一刊号：ISSN：21-1174/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 工程技术类核心期刊,中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:3452