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SU-8胶双光子微加工分辨率与工艺条件研究
  • 期刊名称：微纳电子技术
  • 时间：0
  • 页码：40-45
  • 语言：中文
  • 相关项目：光波段宽带聚合物光子晶体三维隐身结构的设计及其多光子制备
作者： Song Yang|宋旸|董贤子|赵震声|Duan Xuanming|Dong Xianzi|Zhao Zhensheng|段宣明|
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