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Thermal conductivity modeling of copper and tungsten damascene structures
  • ISSN号：0021-8979
  • 期刊名称：Journal of Applied Physics
  • 时间：0
  • 页码：1033-1038
  • 语言：英文
  • 相关项目：纳米复合结构热导率调控的理论和实验研究
作者： Lue, Xiang|
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