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射频PECVD法制备Si-C-H薄膜的研
  • 期刊名称：真空科学与技术学报，v 24, n SUPPL., (2004)p 54-56
  • 时间：0
  • 相关项目：溶胶-凝胶法高性能PST薄膜材料制备与性能研究
作者： 张翼英，杜丕一，韩高荣
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溶胶-凝胶法高性能PST薄膜材料制备与性能研究
期刊论文 45
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