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Structure design and fabrication of a novel dual-mass resonant output micromechanical gyroscope
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：0
  • 页码：543-552
  • 相关项目：导航、制导与传感技术
作者： Li, Jianli|Fang, Jiancheng|Dong, Haifeng|Tao, Ye|
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导航、制导与传感技术
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