位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Modeling the Microstructure Curvature of Boron-Doped Silicon in Bulk Micromachined Accelerometer
  • ISSN号：1996-1944
  • 期刊名称：Materials
  • 时间：2013.1
  • 页码：244-254
  • 相关项目：机构运动的混沌边缘及控制和反控制的研究
作者： Peng, Bei|Shen, Huaqin|He, Xiaoping|Su, Wei|
同期刊论文项目
机构运动的混沌边缘及控制和反控制的研究
期刊论文 41 会议论文 6
同项目期刊论文
Pull-in voltage of Parallel-plate Capacitor Fixed to Double Elastic Supports
Analytical and high accurate formula for electrostatic force of comb-actuators with ground substrate
Calculating capacitance and analyzing nonlinearity of micro-accelerometers by Schwarz-Christoffel ma
利用排列熵确定平面欠驱动五杆机构的混沌边缘
范德华力对微悬臂梁动力模型及分岔的影响
Air Damping Analysis in Comb Microaccelerometer
Modeling the Boron-Doping Silicon Beam by a Multilayer Model
欠驱动平面五杆机构混沌运动的控制与反控制
近似熵在小车一级倒立摆混沌边缘分析中的应用
基于LabVIEW的精密数控机床进给系统实验台的构建
Analytical study and compensation for temperature drifts of a bulk silicon MEMS capacitive accelerom
基于刚柔耦合的数控进给工作台动态特性分析
变参数欠驱动平面五杆机构的混沌运动
近似熵在欠驱动五杆机构混沌边缘分析中的应用
Electrostatic compensation method in frequency robustness design of micro accelerometer
非线性单摆动力系统多参数混沌边缘的研究
模块化混联超冗余度机器人的位置正解研究
部分柔顺翅翼机构及其动力学分析
基于TRIZ理论的微扑翼飞行器翅翼运动的规划
基于闭环灵敏度的微加速度计制造误差的评估
Modeling the pull-in behavior of electrostatically actuated micro beams by an approximate finite ele
一种旋转机械的混沌运动及其控制
平面开链机械臂动力系统及其控制的向量键合图建模与分析
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究