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“一种实用纳米级位移测量校准器
  • 期刊名称：宋浩，刘晓军，王益民, 微计算机信息，2007，vol.23(12)
  • 时间：0
  • 相关项目：同步相移剪切干涉表面在线精密测量研究
作者： 宋浩，刘晓军，王益民
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