中文摘要：

本文介绍了micromegas探测器的主要工艺一micro-bulk工艺.并使用^55Fe放射源对制作完成的micro-bulk工艺原理探测器进行了测试,对比了与绝缘丝工艺原理探测器能量分辨率的差别,并进一步研究了micro-bulk工艺探测器电子透过率等性能测试的结果.

英文摘要：

The fabrication process of micro-bulk micromegas is introduced.The energy resolution of the ^55Fe X-ray is compared with the result of nylon line micromegas.Furthermore,the detailed effect of electric field is discussed.