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中文摘要：
采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列，用于提取脑神经电信号．在整个工艺制作过程中需要三步光刻，制作的硅针长1．2mm，宽100μm，厚30μm，同时各个记录点的间距为200μm，可以形成良好的信号隔离．对微电极的阻抗特性进行了体外测试，结果表明，随着频率由0变为10MHz，单个记录点阻抗由14MΩ下降到1．9kΩ．将微电极黏附到印刷线路板，通过金丝压焊提取各个通道信号，大大提高了植入的可操作性以及信号提取的可靠性．
英文摘要：
A two-dimensional （2D） multi-channel silicon-based microelectrode array is developed for recording neural signals. Three photolithographic masks are utilized in the fabrication process. SEM images show that the microprobe is 1.2mm long, 100μm wide,and 30μm thick,with recording sites spaced 200μm apart for good signal isolation. For the individual recording sites, the characteristics of impedance versus frequency are shown by in vitro testing. The impedance declines from 14MΩ to 1.9kΩ as the frequency changes from 0 to 10MHz. A compatible PCB （print circuit board） aids in the less troublesome implantation and stabilization of the microprobe.
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