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采用柔性铰链实现镜子的四自由度
  • 期刊名称:《机械设计与研究》,Vol. 23, No. 1, 61-64. (2007)
  • 时间:0
  • 相关项目:建立真空紫外软X射线多元件光学系统的研究平台
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