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Electrostatic compensation method in frequency robustness design of micro accelerometer
  • ISSN号：1932-5150
  • 期刊名称：Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
  • 时间：2012.12
  • 页码：-
  • 相关项目：机构运动的混沌边缘及控制和反控制的研究
作者： He, Xiaoping|Su, Wei|Peng, Bei|Zhou, Wu|
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