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Mechanical Properties and Thermal Stability of TiN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted
  • ISSN号：1687-8434
  • 期刊名称：Advances in Materials Science and Engineering
  • 时间：2014.1.1
  • 页码：1-8
  • 相关项目：刀具涂层缺陷数字化表征及其对摩擦学性能影响规律研究
作者： 商宏飞|李健|邵天敏|
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