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Effect of separating layer thickness on W/Si multilayer replication
ISSN号:1094-4087
期刊名称:Optics Express
时间:2011.8.8
页码:15929-15936
相关项目:硬X射线直接成像望远镜基础技术研究
作者:
Wang, Fangfang|Mu, Baozhong|Jin, Huijun|Yang, Xiajun|Zhu, Jingtao|Wang, Zhanshan|
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