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基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法
  • ISSN号:1671-4776
  • 期刊名称:《微纳电子技术》
  • 时间:0
  • 分类:O35[理学—流体力学;理学—力学] TH703[机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构:[1]沈阳理工大学信息科学与工程学院,沈阳110159, [2]中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,沈阳110016
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(61106109);辽宁省自然科学基金资助项目(201102229)
中文摘要:

介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点,设计并提出了一种不对称路径加工方法,有效避免了微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近大量残渣堆积等现象。相对于传统基于微电子机械系统(MEMS)工艺的微流控芯片加工过程(涂胶、曝光、显影等工艺),该方法简捷易行,整个加工过程仅需3h。实验结果表明芯片通畅性与密封性良好,满足实验要求。这种制作方法可以极大减少微流控芯片的加工时间和成本,为实验室微流控芯片的结构设计和前期原理验证提供了一种简捷有效的途径。

英文摘要:

A simply fabrication method of the microfluidic chip based on the numerical control (NC) carving machine was introduced. Combing with the advantages of the roughing ZIG-ZAG and constant Z fabricating modes for the NC carving machine, an asymmetric path processing method was designed and proposed. The phenomena of the microstructure breakage, deformation and residue accumulation nearby the microstructure were avoided effectively by this method.Comparing with the traditional microfluidic chip fabricating process (photoresist coating, exposure, development and so on) based on the micro-electromechanical system (MEMS), this method is simple and easy to implement, and the whole fabrication process only requires 3 h. The experimental results indicate that the flowing and sealing of the microfluidic chip are good and meet the experimental requirements. This method can greatly reduce the process time and cost of the microfluidic chip, and provide a simple and effective way for the structure design and the preliminary theory verification of the microfluidic chip.

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期刊信息
  • 《微纳电子技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:李和委
  • 地址:石家庄市179信箱46分箱
  • 邮编:050002
  • 邮箱:wndz@vip.sina.com
  • 电话:0311-87091487
  • 国际标准刊号:ISSN:1671-4776
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1314/TN
  • 邮发代号:18-60
  • 获奖情况:
  • 2002-2003和2003-2004年度,均获信息产业部电子科...,2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术...,中国学术期刊执行(光盘版)检索与评价数据规范优...,2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊...
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:3327