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新型MEMS微针设计及其力学性能研
  • 期刊名称：半导体学报. 28(1). 113-1，2007
  • 时间：0
  • 相关项目：基于菲涅耳衍射透镜的光学加速度传感器新原理研究
作者： 孙潇、贾书海、朱军、李以贵
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