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The effect of thermal annealing on the microstructure and mechanical properties of magnetron sputter
  • ISSN号:0142-2421
  • 期刊名称:Surface and Interface Analysis
  • 时间:0
  • 页码:162-165
  • 相关项目:碳膜/有机复合纳米结构薄膜摩擦学
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