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Evolution of micro-spikes on silicon surface etched by femtosecond laser with different fabrication
  • 期刊名称:Proc. of SPIE
  • 时间:2012
  • 页码:1-13
  • 相关项目:基于周期量级飞秒激光的紫外精密光谱之啁啾调控研究
作者: 彭滟|朱亦鸣|
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