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Modeling microwave behaviors of series cantilever MEMS switch
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者所属机构:College of Microelectronics and Solid State Electr
  • 页码:471-476
  • 语言:英文
  • 相关项目:高灵敏交换耦合磁致伸缩薄膜材料的研究
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