中文摘要：

以四氯化钛乙醇溶液为钛源,采用氨气还原氮化法成功制备了TiN 薄膜,利用XRD、RAMAN、FE-SEM、TEM、SAED 及UV-VIS-NIR 表征薄膜结构及光学性能. 结果表明,TiN 薄膜为NaCl型面心立方TiN 晶体,膜厚在250nm 左右.UV-VIS-NIR分析显示TiN 薄膜在500nm 附近出现了特征表面等离子体共振吸收峰.利用R6- 作为探针分子研究了TiN 薄膜拉曼增强效应,结果发现,TiN 薄膜具有显著的拉曼增强效应,与空白石英基片相比,TiN 薄膜对R6-增强因子为6.08×10^3,检出限为10^-6 mol/L.