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微焦点X射线图像乘性加性混合噪声的去除
  • ISSN号:1004-924X
  • 期刊名称:《光学精密工程》
  • 时间:0
  • 分类:TP391.4[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术] TP242.6[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]华南理工大学精密电子制造装备教育部工程研究中心,广东广州510640, [2]华南理工大学自动化科学与工程学院,广东广州510640, [3]广东技术师范学院自动化学院,广东广州510665
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(No.61403146);国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2012AA041312);国家科技重大专项02专项子课题“面向封装过程的X光学检测关键技术及成套装备”资助项目
中文摘要:

考虑微焦点X射线仪成像信噪比低,混合噪声污染严重等问题,提出了一种乘性、加性混合噪声去除方法.首先,建立了含乘性、加性混合噪声的图像模型;其次,基于总变分和稀疏表示原理分别构造了滤除加性噪声和乘性噪声的目标函数;最后,应用显式差分算法和梯度投影算法分步滤除加性噪声和乘性噪声.实验结果显示,与总变分去加性噪声方法相比,该方法处理后的图像平滑区域均值与标准差比(MSR)平均提升了10.9%,细节区域拉普拉斯梯度模(LS)平均提升了15.6%.这些结果表明:本文算法不仅有效滤除了微焦点X射线图像的混合噪声,并且较好地保留了图像细节特征,能够满足集成电路内部缺陷检测对图像平滑度和细节清晰度的要求.

英文摘要:

In consideration of the lower imaging Signal to Noise Ratio(SNR) and serious mixed noise of a micro-focus X-ray inspector,a denoising method was proposed for the images corrupted with mixed multiplicative noise and additive noise.Firstly,an image model was established to represent the micro-focus X-ray images with mixed multiplicative and additive noises.Then,to remove the mixed noises,the objective functions were proposed based on the principle of total variation and sparse representation.Finally,the multiplicative noise and the additive noise were removed by explicit difference method and gradient projection in steps.Experiment results show that the proposed method enhances the Mean to Standard deviation Ratio(MSR) of the images by 10.9% in smooth areas,the Laplacian Sum(LS) by 15.6% in detail areas as compared with total variation algorithm for the additive noise model.The experiments demonstrate that the proposed method not only removes the mixed noises in X-ray image but also retains the details of the image edge.It meets the requirements of integrated circuit detection for image smoothness and detail definition.

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期刊信息
  • 《光学精密工程》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会
  • 主编:曹健林
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:gxjmgc@sina.com;gxjmgc@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176855 84613409传
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-924X
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1198/TH
  • 邮发代号:12-166
  • 获奖情况:
  • 三次获得“百种中国杰出学术期刊”,2006年获得中国科协择优支持基金,2007年获“吉林省新闻出版精品期刊奖”,2008年获“中国精品科技期刊”,2012年《光学精密工程》看在的3篇论文获得中国百...,第三届中国出版政府奖提名奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:22699