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多元等离子体浸没离子注入与沉积和磁控溅射技术制备TiAlSiN/WS_2多层薄膜的力学性能和腐蚀行为(英文)
  • 期刊名称:Transactions of Nonferrous Metals Society of China
  • 时间:0
  • 页码:470-475
  • 语言:英文
  • 相关项目:等离子体浸没离子注入批量处理过程的鞘层有限碰撞方法研究
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