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Absolute surface metrology by rotational averaging in oblique incidence interferometry
  • ISSN号：1539-4522
  • 期刊名称：APPLIED OPTICS
  • 时间：2014.6.1
  • 页码：3370-3378
  • 相关项目：大尺寸、超光滑X射线反射镜的二维检测方法的研究
作者： Weihao Lin, Yumei He, Li Song, Hongxin Luo,|Jie Wang*|
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