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Contact resonance force microscopy for nanomechanical characterization: Accuracy and sensitivity
ISSN号:0021-8979
期刊名称:Journal of Applied Physics
时间:2013.8.8
页码:064301-
相关项目:铁电薄膜的应力效应及测试方法研究
作者:
Zhou, Xilong|Fu, Ji|Li, Faxin|
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