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Contact resonance force microscopy for nanomechanical characterization: Accuracy and sensitivity
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:2013.8.8
  • 页码:064301-
  • 相关项目:铁电薄膜的应力效应及测试方法研究
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