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Surface roughness, mechanical properties and bonding structure of silicon carbon nitride films grown
  • ISSN号:0925-8388
  • 期刊名称:Journal of Alloys and Compounds
  • 时间:0
  • 页码:269-276
  • 语言:英文
  • 相关项目:氮化碳基薄膜的仿生设计和水润滑摩擦特性的研究
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