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中文摘要：
磁性Fe3Si薄膜具有高饱和磁化强度、高磁导率、高自旋极化率等优越性，在巨磁阻方面和自旋电子器件中有着广泛应用前景。本文介绍了目前关于Fe3Si薄膜制备的几种主要方法……分子束外延法、脉冲激光沉积法、离子柬合成法、射频溅射法等。通过对国内外Fe3Si薄膜发展现状的研究，分析了Fe3Si薄膜的结构、性能及应用。
英文摘要：
Magnetic Fe3Si thin films have excellent properties,such as high magnetic permeability, high spin polarization etc.,and have extensive application prospects in giant magnetoresistance and spin electronic devices. In this paper, the main preparation methods of Fe3Si thin films are introduced,including molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition, ion beam synthesis, magnetron sputtering etc.. The structure, properties and application of Fe3Si thin film are analyzed by studying the recent progress of Fe3Si film at home and abroad.
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