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谐振梁式硅微惯性器件在地震监测中的应用研究
  • 期刊名称:第十二届测试技术年会,
  • 时间:0
  • 页码:2004.8,广西北海,NSTM/200
  • 语言:中文
  • 相关项目:微型单芯片惯性测量组合及其测试系统集成研究
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