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机器人化微纳操作研究进展
  • ISSN号：0023-074X
  • 期刊名称：科学通报
  • 时间：2013
  • 页码：28-39
  • 分类：TP242[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]中国科学院沈阳自动化研究所,机器人学国家重点实验室, [2]沈阳建筑大学, [3]香港城市大学机械与生物医学工程系
  • 相关基金：国家自然科学基金(61175103,61305125);国家博士后基金(2013M530955);中国科学院-国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助
  • 相关项目：纳米操作机器人同步触发机械门控离子通道
作者： 于海波|焦念东|于鹏|刘连庆|
关键词： 纳米操作, 原子力显微镜, 探针定位, 虚拟夹具
中文摘要：

微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望.

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期刊信息
  • 《科学通报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院
  • 主编：周光召
  • 地址：北京东黄城根北街16号
  • 邮编：100717
  • 邮箱：csb@scichina.org
  • 电话：010-64036120 64012686
  • 国际标准刊号：ISSN：0023-074X
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1784/N
  • 邮发代号:80-213
  • 获奖情况:
  • 首届国家期刊奖,中国期刊方阵“双高”期刊,第三届中国出版政府奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,美国数学评论（网络版）,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:81792