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Investigation of shadow effect in laser-focused atomic deposition
  • ISSN号：0169-4332
  • 期刊名称：Applied Surface Science
  • 时间：2012.11.15
  • 页码：464-469
  • 相关项目：基于原子操控的纳米节距标准的关键理论与技术研究
作者： Deng, Xiao|Ma, Yan|Zhang, Pingping|Zhang, Wanjing|Chen, Sheng|Xiao, Shengwei|Li, Tongbao|
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