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Structural evolution of Ge-rich Si1-xGex films deposited by jet-ICPCVD
  • ISSN号:2158-3226
  • 期刊名称:AIP Advances
  • 时间:2015.11
  • 页码:-
  • 相关项目:硅-多形碳化硅同轴纳米线激光器研究
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