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基于主动红外的倒装芯片缺陷检测研究
  • ISSN号:1001-5868
  • 期刊名称:半导体光电
  • 时间:0
  • 页码:56-59
  • 分类:TN219[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉430074
  • 相关基金:国家“973”计划资助项目(2009CB724204);国家自然科学基金资助项目(50805061,50975106).
  • 相关项目:热/声激励的高密度超细间距倒装焊缺陷诊断方法研究
中文摘要:

传统的倒装芯片无损检测技术并不能完全满足倒装焊检测需要,为此提出了一种基于主动红外的倒装芯片缺陷检测方法。通过非接触方式对倒装芯片施加热激励,并结合红外测温设备检测芯片温度分布情况,从而对芯片内部缺陷进行诊断与识别。实验研究表明,该方法能较好地检测出倒装焊点缺陷,可应用于倒装焊芯片的缺陷检测与诊断研究。

英文摘要:

Traditional non-destructive detection methods owing to their disadvantages are insufficient for solder joint assessment. Therefore, a defect inspection method based on active thermography is proposed in this paper. In this approach, the flip chip is heated by non-contact thermal source. A commercial infrared thermal imager is employed to capture the thermal distribution on the chip. The thermal distribution and evolution indieafe defects inside flip-chip. Experimental investigation is carried out. The results prove that this method has ability of detecting defects inside flip-chip, and can be applied in defects inspection and diagnosis of flip-chip.

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期刊信息
  • 《半导体光电》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十四研究所(重庆光电技术研究所)
  • 主编:江永清
  • 地址:重庆市南岸区南坪花园路14号
  • 邮编:400060
  • 邮箱:soe@163.net
  • 电话:023-65860286
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-5868
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1092/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 重庆市首届十佳期刊称号,1999年,信息产业部1999-2000年度优秀电子期刊称号
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:5924