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Generalized numerical pressure distribution model for smoothing polishing of irregular midspatial fr
  • ISSN号：1539-4522
  • 期刊名称：APPLIED OPTICS
  • 时间：2014.2.20
  • 页码：1020-1027
  • 相关项目：连续相位元件纳米精度可控柔体制造理论与评价方法研究
作者： Xuqing Nie|Shengyi Li|Feng Shi|Hao Hu|
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