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Nanoscale friction and wear properties of silicon wafer under different lubrication conditions
  • ISSN号：0169-4332
  • 期刊名称：Applied Surface Science
  • 时间：2013.10.10
  • 页码：25-31
  • 相关项目：无亚表层损伤的水基微/纳超精密抛光的关键技术与机理
作者： Chen, Xiaochun|Zhao, Yongwu|Wang, Yongguang|Zhou, Hailan|Ni, Zhifeng|An, Wei|
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