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Analytical formulation of modal frequency split in the elliptical mode of SCS micromechanical disk r
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：2014.1.10
  • 页码：1-7
  • 相关项目：体声波模态微机械谐振子中的非线性效应及其应用研究
作者： 韦学勇|
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