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Dynamic scan detection of focal spot on nonplanar surfaces: theoretical analysis and realization
  • ISSN号：0091-3286
  • 期刊名称：Optical Engineering
  • 时间：2011.7.7
  • 页码：073601-073601
  • 相关项目：亚波长微结构直写技术研究
作者： Jianbo Luo|Yiyong Liang|Guoguang Yang|
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