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Optimization Design of a piezoelectric transduction Silicon resonant Pressure sensor
  • ISSN号：1022-6680
  • 期刊名称：Advanced Materials Research
  • 时间：0
  • 页码：2256-2261
  • 相关项目：谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器
作者： Nay soe shwe|Fan shang chun|Guo zhan she|
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谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器
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