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Solidly mounted resonators operated in thickness shear mode based on c-axis oriented AlN films
ISSN号:0924-4247
期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
时间:2011.2.2
页码:379-384
相关项目:基于光学差频太赫兹脉冲整形技术的研究
作者:
Chen, Da|Wang, Jingjing|Li, Dehua|Xu, Yan|Li, Zhaoxin|
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